扫描电子显微镜(sem)的主要工具是电子设备测试、失效分析和表征。这种状态并不明显,然而,当第一个商业SEM,剑桥立体扫描,出现在1963年。当时厂家的市场调查预测全球六到十单元的总销售额。在过去的四十年,sem平均售价每24小时一个单位,有三分之二的仪器的半导体行业。

扫描电子显微镜
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半导体晶圆 扫描电子显微镜
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