本文描述了一种样品制备技术，通过该技术可以手动抛光集成电路上的特定区域，使其达到TEM透明。这种技术被称为三脚架抛光或楔形方法，在几个小时内产生横截面样品，几乎不需要或不需要额外的细化来进行TEM分析。该方法也可用于制备平面视图TEM样品以及用于SEM分析和光学显微镜的样品。

横截面的样品，规划视图示例，TEM分析，三脚架抛光
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透射电子显微镜 研磨和抛光
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