EXLO技术依靠范德华力将FIB铣削样品转移到使用玻璃探针微操作器的各种类型的载体上。本文介绍了一些最新的EXLO技术，用于特定地点的扫描透射电子显微镜，包括使用开槽半网格和真空辅助提升进行平面视图分析。

移地举升，开槽half-grids，阀杆分析，真空辅助EXLO
此内容仅以PDF格式提供。
版权所有©ASM Intbeplay体育官网地址ernational®2018
2018
beplay体育官网地址
主题
样品制备 扫描透射电子显微镜 半导体晶圆制造
您目前没有访问此内容的权限。