电子光学太赫兹脉冲反射计(EOTPR)是一种无损故障隔离技术,非常适合今天的ICs。本文提供的示例EOTPR是如何被用于调查2.5 d和3 d包,晶圆级扇出包,和MEMS设备。它也讨论了近年EOTPR系统和软件的发展进步。

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