在酸铜导线易受损失被膜剥除术,必须保护停止过程在合适的时刻。本文描述的开发和评估方法,使用极化电流测量end-of-etch检测和随后的冲洗。

酸被膜剥除术,铜导线,蚀刻停止
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2018年
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主题
样品制备 半导体晶圆 铜
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