提出了一种基于热反射原理的无创热成像方法，用于分析先进半导体器件。几个例子说明了这种方法在检测其他技术所遗漏的热异常和缺陷方面的价值。

反射率，亚微米缺陷检测，热成像，基于热反射的成像，创科实业
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半导体晶圆制造 反射率 温度记录 决议 试验方法评定
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