本文讨论了热载流子注入的影响,偏见温度不稳定,和时间依赖介质击穿FinFET性能和可靠性。

偏见温度不稳定,FinFETs,热载流子注入,可靠性,时间依赖介质击穿
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2019年
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主题
半导体晶圆 介质击穿
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