扫描探针显微镜应用于半导体器件的失效分析

扫描探针显微镜(SPM)广泛用于故障隔离以及诊断泄漏电流检测电路、开放和掺杂特征相关的缺陷。在本文中,作者提出了两个SPM应用程序是相当罕见的,但同样重要的失效分析的范围。第一个案例涉及的发现nano-steps高压场效应电晶体表面,这种现象与应激相关的晶体转变沿着(111)硅平面。在第二种情况下,作者使用了一个在导电模式下AFM探针关联隧穿电流分布与热点high-k栅氧化层的电影,这是氧化质量的证明是一个更好的指标比rms表面粗糙度。