摘要
这篇文章描述了一个电子书标题STEM-in-SEM:介绍用于微电子故障分析的扫描透射电子显微镜，旨在为那些很少或没有传输成像经验的入门教程，并作为希望扩展其设备的成像和衍射能力的SEM用户的想法来源。
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