的能力将原子一个接一个在特定原子网站最初是用于创建功能电子设备在1990年代末。从那时起,这个过程被称为原子精密先进制造业(APAM)进一步发展和学术和商业利益在其潜在的增长。本文描述了流程的细微差别,解释它掺杂物的地方使用的硅表面化学,不是通常用在精密加工机制。还讨论了持续不断的努力开发更复杂的量子设备使用APAM技术,概述了挑战参与接口APAM和CMOS设备在同一模具。

原子精密先进制造,互补金属氧化物半导体工艺,量子效应器件,表面化学
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®202beplay体育官网地址0
2020年
beplay体育官网地址
主题
加法制造 半导体晶圆
您目前没有访问这些内容。