失效分析是对可观察或可测量现象的研究和表现。另一方面，风险评估是研究根本原因以预测未来故障的可能性。在本文中，作者描述了由故障分析、风险评估和高级建模组成的结构化问题解决方法。通过实例分析，确定了由分层缺陷引起的未来失效概率。

置信区间，分层缺陷，风险评估，不确定性
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主题
建模工具和方法 半导体晶圆制造 风险分析 不确定性
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