差分霍尔效应测量(DHEM)通过半导体层以纳米级深度分辨率提供所有关键电参数的深度剖面。本文描述了相对较新的方法，并展示了如何使用它来测量不同材料和结构中的迁移率和载流子浓度分布。

载体浓度，深度剖析，微分霍尔效应计量学，流动性
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