x射线ptychography,最近的研究显示,有可能桥之间存在的差距,目前传统的x射线成像和电子显微镜。本文涵盖了从基本的二维成像技术的发展,计算机断层扫描3 d ptychographic x射线辐射分层照相术(PyXL)和缩放。演示的功能PyXL, 16 nm FinFET逻辑IC机械抛光的厚度20µm和几个地区各级成像分辨率。

3 d PyXL,计算机断层扫描,x射线ptychography,ptychographic x射线辐射分层照相术
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®202beplay体育官网地址1
2021年
beplay体育官网地址
主题
x射线microtomography 半导体晶圆 测试方法评估
您目前没有访问这些内容。