STEM-in-SEM本文提供了一个简单的概述,讨论利弊,最近探测器技术的进步,和4 d STEM-in-SEM的出现,一个相对较新的方法,使用在不同的光栅衍射模式记录位置来增强图像离线选择感兴趣的区域。

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扫描透射电子显微镜 半导体晶圆 测试方法评估 扫描电子显微镜
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