本文介绍了扫描氮空位(NV)显微镜的基本测量物理，以及它在半导体器件故障分析中的各种方法。扫描NV显微镜可以测量地形以及磁场、局部电流密度、交流噪声和局部温度变化。

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扫描探针显微术 半导体晶圆制造 测试方法评价
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