本文描述了扫描的基本物理测量氮空位(NV)显微镜和各种方式可以用于半导体器件失效分析。扫描NV显微镜可以测量地形以及磁场,局部电流密度、交流噪声,和当地的温度变化。

缺陷定位,当地的热点,氮-空位中心,扫描NV显微镜,扫描氮空位,磁力测定,SNVM
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®202beplay体育官网地址2
2022年
beplay体育官网地址
主题
扫描探针显微镜 半导体晶圆 测试方法评估
您目前没有访问这些内容。