本文讨论了样品制备的挑战,阻碍进步生产bias-enabled TEM样品从电子元件,以及策略来减轻这些问题。

聚焦离子束铣,原位透射电镜偏压,样品制备,茎EBIC成像
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2023年
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主题
样品制备 扫描透射电子显微镜 半导体晶圆
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