广泛的离子束机构扁平化是一个多才多艺的整个芯片失效分析技术。均匀的大面积加上能够精确地停在感兴趣的层促进可重复的、快速的缺陷检测芯片上的任何地方。

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2023年
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主题
样品制备 半导体晶圆 蚀刻 二次离子质谱
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