本文描述了一个自动化的SEM和TEM分析样品制备过程基于亚微米抛光。该方法使用机器人技术、图像处理和计算机控制下的抛光轮的全自动recipe-driven过程创建精确的横断面图0.1μm准确性。

样品制备,亚微米抛光
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2001年
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主题
样品制备 透射电子显微镜法 研磨和抛光
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