扫描电容光谱学(SCS)是一种新的方式使用扫描电容显微镜(SCM)描绘在硅pn结设备。SCS产生二维pn结地图,小如10 nm的特性。它还可以估计pn结耗尽宽度,因此掺杂水平附近的结。本文解释了SCS和scm允许一个全新的政权涉嫌现象的探索在Si设备和集成电路。

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2001年
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主题
扫描探针显微镜 半导体晶圆 光谱学
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