本文讨论的缺陷类型发生在垂直腔面发射激光器(VCSELs)和工具通常用于检测和识别的原因。它描述的基本设计和操作VCSELs并解释说,大多数故障是由于材料的晶体结构混乱的设备。用于分析各种方法的缺陷,致发光(EL)是迄今为止最强大的在几个EL图像包含在这篇文章中。本文还讨论了使用EBIC分析、浆纱切片FIB,热感应电压改变(TIVA)。

混乱,致发光,故障定位,光电设备,TIVA成像,VCSELs
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®200beplay体育官网地址3
2003年
beplay体育官网地址
主题
混乱 半导体晶圆
您目前没有访问这些内容。