文摘
本文描述了两个创新的方法,可以显著提高扫描电镜成像的分辨率:扫描透射电子显微镜的扫描电子显微镜(STEM-in-SEM)和forward-scattered电子成像(FSEI)。这两种方法都可以实现在任何扫描电镜使用特殊样品持有人。不需要其他修改。本文中提出的测试结果表明,1 - 2纳米分辨率的薄片,盖茨裸多晶硅,光刻胶。
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2004年
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