基于微热量计的能量色散光谱是半导体材料分析领域的一项突破。它的能量分辨率小于10 eV，可以明确识别低能量范围(<3 kV)的元素，而到目前为止，这需要波长色散技术。

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主题
半导体晶圆制造 测试方法评价 能量色散x射线光谱学
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