本文演示的长处和局限性电测试定位缺陷导致接触失败后发展出。它提出了三个案例研究,第一个涉及到写入问题一对细胞分享开放bitline接触。第二种情况下,一个读中小学感觉放大器之间的问题,作为一个例子,失败的位图和电气特性是如何一起工作来检测和定位的缺陷。第三例是一个译码器问题,要求额外的测试和内部调查以确定缺陷的位置。

缺陷定位,DRAM数组,电气测试,失败的位图
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2006年
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半导体晶圆
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