探索在子- 100纳米领域需要新的工具和技术,相对容易学习如果用户遵循本文的作者的建议。作者提出一个基于扫描探针技术的探测方法和证明其使用90 nm晶体管失败由于成功地大门。他们还地址与样品制备相关的挑战,探头尖端污染和磨损,振动和漂移的影响。

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2006年
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扫描探针显微镜 半导体晶圆
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