高分辨率桌面极端的紫外线显微镜

high-repetition-rate最近的示威活动,高亮度软x射线激光打开新的可能性的发展紧凑成像系统空间分辨率接近照明波长。本文讨论的一些配置,用于这些极端紫外线(EUV)成像系统和他们的一般功能。讨论的一个系统使用的输出46.9 nm氩激光传输和reflection-mode呈现图像的空间分辨率120到150纳米。另一个使用13海里AgCd与菲涅耳波带板激光光学、产生透射型图像的空间分辨率38海里。