系列中第一个,本文描述了如何精确控制剩余的硅厚度(RST)通过机械表面的调整配置文件使用多点厚度测量。这解释了为什么多点厚度测量是必要的,并讨论了硅厚度测量的现实。小心处理,清洗,RST测量,样品可以可靠地处理50μm厚度变化的+ / - 2.5μm在大多数的死亡。

本系列文章的第1部分中,本文讨论了稀疏的挑战高度扭曲的死和解释他们如何可以克服轮廓加工的厚度测量。机器模具表面原位概要文件使用措施,生产的线框模型控制主轴的旋转和运动工具。本文所用稀释过程包括几轮研磨,研磨步骤导致统一模厚度以最小的表面缺陷。压扁的机械限制弯曲死在准备死变薄在本文的第二部分将讨论在2015年11月EDFA的问题。