透射电子显微镜以各种方式提高了在过去的二十年里,引起新的表征技术。在本文中讨论的创新场发射枪的引入,将CCD相机和x射线探测器,使用镜头校正系统。这样的改善有显著影响失效分析通过新的TEM技术的出现,包括粮食和应变分析,旋进电子衍射降噪处理低剂量鳗鱼的映射ultra-low-k材料,和EDX断层元素3 d成像纳米尺度上的缺陷。