微电子失效分析是基于几种方法去研究和理解失败的起源。除了“经典”的基本方法(西姆斯、光电子能谱等),有许多不常见的技术可以是有价值的但需要大量设备投资、专业运营商,分析师和管理基础设施,使它们可用,如果必要的。离子束分析方法(RBS, PIXE NRA),发现在波尔多核研究中心(法国),是这些专业的工具集的例子。这个网站的功能和改善敏感性通过几个例子演示了设备检查。