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扫描氮空位磁力测定:量子技术设备失效分析

彼得Rickhaus,帕特里克Maletinsky
摘要技术文章(2022)24 (1):29-32。
DOI: https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2022 - 1. p029
发表:2022年2月01
…,local current density, ac noise, and local temperature variations. Copyright © ASM International® 2022 2022 ASM International defect localization local hotspots nitrogen vacancy centers scanning NV microscopy scanning nitrogen vacancy magnetometrySNVMEDFAAO (2022) 4:29-32……
文摘
本文描述了扫描的基本物理测量氮空位(NV)显微镜和各种方式可以用于半导体器件失效分析。扫描NV显微镜可以测量地形以及磁场,局部电流密度、交流噪声,和当地的温度变化。
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