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磁力测定

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期刊文章

扫描氮空位磁力测定:量子技术设备失效分析

彼得Rickhaus,帕特里克Maletinsky
摘要技术文章(2022)24 (1):29-32。
DOI: https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2022 - 1. p029
发表:2022年2月01
…,local current density, ac noise, and local temperature variations. Copyright © ASM International® 2022 2022 ASM International defect localization local hotspots nitrogen vacancy centers scanning NV microscopy scanning nitrogen vacancy磁力测定SNVM EDFAAO (2022) 4:29-32……
文摘
本文描述了扫描的基本物理测量氮空位(NV)显微镜和各种方式可以用于半导体器件失效分析。扫描NV显微镜可以测量地形以及磁场,局部电流密度、交流噪声,和当地的温度变化。
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期刊文章

3 d技术:失效分析的挑战

英格丽德沃尔夫
摘要技术文章(2016)18 (4):24-29。
DOI: https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2016 - 4. p024
发表:2016年11月01
…,L. Luan, R.L. Walsworth, and A. Yacoby: Nanoscale磁力测定与NV中心钻石,牛夫人。,Materials Research Society, 38, Feb. 2013, pp. 155-61. 10. K.C. Lee, J. Alton, M. Igarashi, and S. Barbeau: Fast Feature Based Non-Destructive Fault Isolation in 3D IC Packages Utilizing Virtual...
文摘
3 d芯片级集成,芯片是变薄,堆放,并使用tsv垂直互连和microbumps,带来了许多挑战,改进,尤其是在失效分析领域。本文评估各种FA技术的能力的3 d集成带来的挑战并识别当前的缺陷和未来的需要。
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