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期刊文章

讨论机器的机械限制用于样品制备流程

柯克·马丁,南希织布工
摘要技术文章(2016)18(2):4到10。
DOI: https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2016 - 2. p004
发表:2016年5月01
....它能够识别关键的机器参数和解释了环境影响,跳动和几何不准确导致的不确定性和定位误差。也评估的精度、准确性和重复性要求背面稀疏和减少层级系统。分析师使用失败……
文摘
失败分析师使用各种机器的样品制备,其中许多是机械。本文讨论了确定精度的因素,分辨率,XY定位系统和可重复性,旋转阶段,multiaxis机器。它能够识别关键的机器参数和解释了环境影响,跳动,几何不准确导致的不确定性和定位误差。也评估的精度、准确性和重复性要求背面稀疏和减少层级系统。
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