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ASM手册

材料表征(2019年版）

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体积

10

DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019

本章

半导体特性

通过

大卫·t·舍恩

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Meredith S. Nevius

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苏米特Chaudhary

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Doi:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006670

发表:

2019

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摘要

本文介绍了半导体表征中常用的各种技术，即单晶、多晶、非晶、氧化物、有机和低维半导体和半导体器件。讨论涵盖了材料分类、制备方法、样品制备、体/元素表征方法、微观结构表征方法、表面表征方法和电子表征方法。

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