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材料表征(2019年版)

本文讨论了电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)的基本原理,涵盖了用于进行ICP-MS分析的不同仪器。所涉及的仪器包括样品导入系统,ICP离子源,质量分析仪和离子检测器。重点放在ICP-MS在半导体、光伏、材料科学和其他电子和高科技领域的应用。

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