材料表征(2019年版）

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DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019

本章

扫描电子显微镜

通过

尤瑟夫·n·皮卡德

1 卡耐基梅隆大学

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https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006668

发表:

2019

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摘要

本文详细介绍了扫描电子显微镜(SEM)的仪器和原理。它首先描述了传统扫描电镜仪器的主要组成部分。随后讨论了扫描电镜与其他常见显微镜和微量分析技术相比的优点和缺点。以下部分涵盖了有关样品制备的关键问题，有关电子束-样品相互作用的物理原理，以及许多类型的图像对比度的机制。文章还介绍了基于扫描电镜技术和专用扫描电镜仪器的细节。最后给出了各种扫描电镜模式的应用实例。

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