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材料表征(2019年版)

电子背散射衍射(EBSD)技术已被证明在测量晶体结构、相之间的取向关系以及塑性和弹性应变方面非常有用。本文主要讨论扫描电子显微镜中的背散射衍射,并描述透射菊池衍射。本文首先讨论了EBSD的起源和EBSD模式的集合。接下来的章节提供有关EBSD空间分辨率和EBSD系统操作的信息。各种因素相关的执行EBSD实验,然后涵盖。本文进一步描述了涉及样品制备的过程,这些过程对EBSD实验的成功或有用性至关重要。讨论了EBSD在大样品中的应用以及EBSD标引方法的发展。

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