材料表征(2019年版）

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DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019

本章

聚焦离子束仪器

通过

纳比尔Bassim

1 麦克马斯特大学

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谷歌学者

；

约翰Notte

2 卡尔蔡司SMT公司

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https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006677

发表:

2019

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摘要

本文旨在使读者更好地理解聚焦离子束(FIB)仪器的基本科学、技术和最常见的应用。本文首先概述了各种类型的FIB仪器及其配置，讨论了基本组件，并仅在帮助操作员获得所需结果的范围内解释了它们的功能。解释离子光学柱的组成部分如何形成和引导离子束到所需的目标位置，然后提供。本文还回顾了许多不同的附件和选项，使仪器在所有不同的应用程序中实现其全部潜力。接下来是与离子束与样品相互作用相关的物理过程的详细分析。最后，对最突出的FIB应用进行了完整的概述。

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