本文重点介绍了高溅射率动态二次离子质谱(SIMS)在深度分析和体杂质分析中的原理和应用。本文首先概述了与溅射有关的各种因素。接着讨论了离子注入和电子激发对溅射种电荷的影响。然后对SIMS的各种仪器组件的设计和操作进行了回顾。详细介绍了模拟人生的深度剖面分析，模拟人生数据的定量分析，以及飞行时间模拟人生的静态操作模式。提出了二次离子成像所需的仪器特征，并描述了四极和高分辨率磁质量滤波器之间的差异。本文还综述了非金属样品分析的最佳方法和高灵敏度的SIMS检测方法。最后讨论了各种SIMS应用程序的示例。