材料表征(2019年版）

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DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019

本章

卢瑟福后向散射光谱法

通过

林邵

1 德州农工大学

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谷歌学者

；

Wei-Kan楚

2 休斯顿大学

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https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006637

发表:

2019

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摘要

本文详细介绍了卢瑟福后向散射光谱法(Rutherford backscattering spectroscopy, RBS)的基本概念。本文首先描述了RBS的原理，以及与后向散射测量相结合的通道效应和在这种情况下能量损失的影响。接下来是RBS分析中使用的设备。然后讨论了RBS数据分析的主要步骤:通道-能量转换、能量-深度转换和脱通道背景的分离。文章还讨论了rbs的应用，包括大块样品的组成、薄膜组成和层厚度、杂质分布、损伤深度分布和表面峰值，以及开发的各种模拟代码。

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卢瑟福后向散射光谱法

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