材料表征(2019年版）

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DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019

本章

扫描电子显微镜

通过

尤素夫·n·皮卡德

1 卡内基梅隆大学

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https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006668

发表:

2019

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摘要

这篇文章提供了关于扫描电子显微镜(SEM)的仪器和原理的详细信息。本文首先介绍了常规扫描电镜仪器的主要组成部分。接下来讨论了扫描电镜与其他常见显微镜和微量分析技术相比的优点和缺点。以下部分涵盖了关于样品制备的关键问题，关于电子束-样品相互作用的物理原理，以及许多类型的图像对比的机制。本文还详细介绍了基于扫描电镜的技术和专用扫描电镜仪器。最后给出了各种SEM模式的应用实例。

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