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材料表征(2019年版)

本文详细叙述了电子激发x射线显微分析的原理。本文首先讨论了电子激发x射线显微分析的物理基础,以及能量色散光谱法(EDS)和波长色散光谱法在电子探针显微分析中的优势和局限性。然后介绍了用电子激发x射线能谱进行定性分析和定量分析的关键概念。本文提供了导致k比/矩阵校正协议中测量不确定度的几个来源,以及原始分析总量的重要性。还包括使用EDS的基于标准的k比/矩阵校正协议的准确性以及发生严重峰重叠时的分析过程。本文介绍了低原子序数元素,复杂成分的迭代定性定量分析,以及在EDS软件中进行无标准分析的意义。最后用一节介绍主要和次要成分的元素映射所涉及的过程。

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