材料表征(2019年版)

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DOI:

https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.9781627082136

ISBN电子:

978-1-62708-213-6

出版时间:

2019年

本章

聚焦离子束仪器

通过

纳比尔Bassim

1 麦克马斯特大学

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;

约翰Notte

2 卡尔蔡司SMT公司。

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https://doi.org/10.31399/asm.hb.v10.a0006677

发表:

2019年

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文摘

本文旨在为读者提供一个了解潜在的科学、技术和最常见的应用程序聚焦离子束(FIB)工具。它开始于一项调查的各种类型的FIB仪器及其配置,讨论了基本组件,并解释它们的功能只有在它帮助运营商获得期望的结果。的组件是如何的解释离子光学柱形状和引导离子束然后提供所需的目标位置。本文还回顾了许多不同的配件和选项,使仪器,充分发挥其潜力的所有不同的应用程序。这是紧随其后的是一个物理过程的详细分析与离子束与样品相互作用。最后,一个完整的调查最著名的FIB应用程序。

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