本文详细介绍了卢瑟福后向散射光谱法(RBS)的基本概念。它首先描述了RBS的原理，以及与后向散射测量相结合的通道效应以及在这种情况下能量损失的影响。接下来是关于RBS分析中使用的设备的部分。然后讨论了信道-能量转换、能量-深度转换和脱信道背景分离作为RBS数据分析的主要步骤。本文还讨论了rbs的应用，包括大块样品的组成、薄膜的组成和层厚度、杂质分布、损伤深度分布和表面峰，以及为模拟它而开发的各种代码。

涂层和薄膜可以用表面分析方法来研究，因为它们固有的小深度允许表征表面组成、界面组成和成分的深度分布。本文介绍了常用的表面分析方法，即俄歇电子能谱、x射线光电子能谱、离子散射能谱、二次离子质谱和卢瑟福后向散射能谱的原理和实例。它还为表面分析的应用提供了有用的信息。

卢瑟福后向散射光谱法(RBS)是一种主要的材料表征技术，可以在较短的分析时间内提供信息。它用于薄膜、层状结构或块状材料的定量成分分析，并用于测量较轻元素基底上重元素的表面杂质。本文重点介绍了RBS及其原理，如碰撞运动学、散射截面和能量损失。介绍了通道效应和RBS设备的操作。本文还提供了有关RBS应用程序的信息。