LASRE:一种用于SEM图像逆向工程的大面积加速分割新方法

在硬件保障领域，逆向工程(RE)被认为是确保集成电路(IC)安全性和可靠性的关键工具和资产。然而，随着先进节点技术的引入，可再生能源在集成电路中的应用正成为一项艰巨的任务。这被成像方式所带来的挑战放大了，比如用于获取集成电路图像的扫描电子显微镜(SEM)。其中一个挑战是缺乏对成像方式中噪声的影响的理解，以及它对图像质量的有害影响和对IC成像所需的总体时间框架。在本文中，我们描述了图像中噪声的某些方面及其主要来源。此外，我们利用这一理解提出了一种新的基于纹理的扫描电镜图像分割算法，称为LASRE。所提出的方法是无监督的，无模型的，对噪声的存在具有鲁棒性，并且可以应用于IC的所有层，结果一致。最后，报告了一项比较研究的结果，并详细讨论了与该方法相关的问题。该方法在IC中分割不同层的准确率始终达到86%以上。