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ASM技术书籍
微电子故障分析:桌子上参考(第七版)
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ISBN电子:
978-1-62708-247-1
出版时间:
2019
微电子失效分析,桌面参考,第七版提供先进的故障分析工具和技术的最新信息,用现实生活中的例子说明。本书包含了帮助工程师提高他们验证、隔离、发现和识别故障根源的能力的信息。主题包括:失效分析流程和管理,包括晶圆、封装和板级失效分析流程;进货检验工具,包括光学、x射线和扫描声学显微镜;故障隔离,包括正反面样品制备、CAD导航、激光辅助器件改造(LADA)、软缺陷定位(SDL)、锁定热成像、激光电压探测(LVP)、光子发射、EOTPR/TDR/TDT和电流成像;器件和电路表征,包括基于扫描电子显微镜(SEM)和基于原子力显微镜(AFM)的纳米探测;FIB技术和电路编辑,包括FIB概述和高级电路编辑,用于第一次硅调试;物理分析,包括去处理、截面分析、扫描电子显微镜、材料分析技术、透射电子显微镜(TEM)和扫描探针显微镜;存储器FA,包括DRAM、半导体存储器失效特征分析;特殊应用,包括汽车FA、2.5和3D封装失效分析、微机电系统(MEMS)、光电子、太阳能和假冒电子产品; and Fundamental Topics, including integrated circuit testing, analog design, reliability, quality, and training. For information on the print version, ISBN: 978-1-62708-245-7,点击此链接.
目录表
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第1部分:失效分析过程和管理
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第2部分:进料检验工具
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第3部分:故障隔离
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第4节:器件和电路特性
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第五节:FIB技术和电路编辑
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第6节:物理分析
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第7部分:内存故障分析
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第8节:失效分析的特殊应用
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第9部分:基本主题